一種可抗2000℃瞬時超高溫沖擊的硅隔離耐高溫壓力傳感器日前在西安交大精密工程研究所研制成功。專家認(rèn)為，這一國家“863”計劃項目的完成，將有效解決我國航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量和瞬時高溫沖擊下傳感器失效的技術(shù)難題，打破了國外同類產(chǎn)品對我國傳感器市場的壟斷，提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭能力，具有很高的推廣和使用價值。常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴(yán)重惡化以至失效。 常規(guī)的測量方法和手段不能滿足高溫等惡劣環(huán)境下的壓力測量和自動化領(lǐng)域越來越高的測量精度要求，致使我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品長期以來主要依賴進(jìn)口。西安交大研制的耐高溫壓力傳感器能在-30℃～250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測量，可完成1000Mpa以下任意量程范圍的壓力測量，能承受2000℃瞬時高溫沖擊。可滿足高溫、高壓、高頻響及瞬時高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測量，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)了國內(nèi)在此領(lǐng)域的多項空白，對于推動我國儀器儀表工業(yè)的發(fā)展，培養(yǎng)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)具有重要意義